真空的本質是氣體分子濃度較低的空間。因此，只要空間中的氣體分子濃度降低，就可以在不實際進行排氣處理的情況下獲得真空。鈦泵基于這一原理。
鈦原子與空間氣體分子之間的一系列復雜的物理和化學反應通過加熱，電離等進行，使得氣體分子與鈦原子一起沉積，從而達到降低空間氣體分子濃度的目的。這是鈦泵的基本工作原理。這與壓縮泵的原理不同（即，氣體從一側壓縮到另一側以獲得真空）。
2.1，濺射離子泵的原理
早在本世紀初，一些人就在真空管中蒸發一些化學活性金屬，與未在管中泵出的氣體發生反應，從而降低了空間中氣體分子的濃度。這種金屬以及起相同作用的材料稱為吸氣劑。這種方法稱為化學清除。實驗表明，當鈦連續蒸發到冷卻壁上時，可以形成具有相當泵送速率的泵，形成簡單的升華泵。
捕獲氣體分子也可以使用電離吸附方法。通過用高速電子轟擊氣體分子可以獲得正離子。通過電場將正離子排出到負電極。中和后，分子之間的范德華力被金屬吸附，不再離開電極。這降低了空間氣體分子的濃度并達到了獲得真空的目的。這種現象稱為電動清潔，使用電動清潔實現脫氣的泵稱為離子泵。離子泵對吸附的氣體沒有選擇性。
離子泵和升華泵均可實現高真空水平，但單獨使用它們來實現更高的真空度可能很困難。這與他們的工作機制有很大關系。離子泵通過物理吸附捕獲氣體分子的能力是有限的;升華泵產生的化學鍵能很大，但很容易在其表面形成飽和，影響其對氣體的進一步吸收，升華泵對惰性氣體的吸附效果不好。因此，通過將兩個泵組合成一個，可以獲得具有更好抽吸效果的濺射離子泵。
2.2，濺射離子泵的組成
濺射離子泵主要由四部分組成：陽極，陰極，永磁體和泵體。